1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的要求。由于出厂真空测试是以无容积进气口的极限压力测试的,所以选择泵的极限压力低于要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的压力范围下工作,因而,泵的工作环境应该选在这个范围之内,不允许在工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组:
(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。
(2) 有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。
5、当您选择以油作为密封的真空泵时,应该确保真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环真空泵。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。
6、被抽气体成分,气体是否含有颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、过滤器等。
7、当选择油封泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。
真空泵工作压力范围
泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
*工作范围(Pa) | 105~10 | 105~102 | 102~1 | 1~10-1 | 5×10-2~10-4 |